Absorption / Streuung

Die absolute Absorption optischer Komponenten wird gemäß ISO 11551 mit Hilfe eines hochauflösenden (UV-)Laser-Kalorimeters bestimmt. Hiermit können bei den Bestrahlwellenlängen 193 nm, 248 nm, 351 nm sowohl lineare als auch nichtlineare Absorptionsverluste in Optiken ermittelt werden. Die Messungen erlauben außerdem eine schnelle Bewertung des Langzeitverhaltens von DUV-Optiken bei niedrigen Energiedichten.

  • Präzise Messung der Absorption nach ISO 11551 (ppm-Empfindlichkeit)
  • Bestimmung von linearen und Zwei-Photonen-Absorptionskoeffizienten
  • Erfassung von Alterungseffekten / Degradation (Farbzentrenbildung)
  • Zerstörungsfreie Qualitätsuntersuchung von Excimerlaser-Optiken

Streuung

Streuverluste in UV-Optiken werden in einem Streulichtmessplatz mit einem Excimerlaser als Lichtquelle und einer speziell beschichteten Ulbricht´schen Kugel als integrierendem Element vermessen.

  • Bestimmung der Totalen Streuung (TS) im UV-Spektralbereich
  • Empfindlichkeit: <1 ppm bei 248 nm, <30 ppm bei 193 nm
  • Erstellung zweidimensionaler Streulichtverteilungen

 

Weiterführende Informationen:

Produktflyer Optikcharakterisierung (PDF)
 

C. Görling et al.:
Comparative studies of absorptance behaviour of alkaline-earth fluorides at 193 nm and 157 nm,
Appl. Phys. B. 74 (3) (2002)

C. Görling et al.:
Surface and bulk absorption in CaF2 at 193 and 157nm, Opt. Comm. 249 (1-3) (2005)

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Laser-Laboratorium Göttingen e.V. (LLG)

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"Optik / Kurze Wellenlängen"

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