Laborstrahlquelle

Durch Fokussierung eines Nd:YAG-Laserstrahls (1064 nm, 200 - 700 mJ, 170 ps - 6 ns) in einen gepulsten Gasstrom wird ein Plasma gezündet. Dieses emittiert je nach Targetgas kurzwellige Strahlung im EUV- und weichen Röntgenspektralbereich. Dabei liefert die Quelle Pulsenergien von bis zu 4 mJ (bei 13,5 nm) mit einer Wiederholfrequenz von bis zu 10 Hz.

Hauptmerkmal ist die kompakte Bauweise, die Experimente mit EUV- und weicher Röntgenstrahlung in jedem Labor zulässt. Durch angepasste Düsengeometrien kann eine Effizienz von bis zu 0,45 % erreicht werden.

Leistungsmerkmale der Laborstrahlquelle bei 13,5 nm mit Xenon als Targetgas

Wellenlänge (Xe):2-40 nm
Plasmadurchmesser:300 µm
Pulslänge:6 ns
Wiederholungsrate:≤10 Hz
Konversionseffizienz (Xe):0,45 %
EUV-Photonen/Puls:2,4×1014
Pulsenergie:4,0 mJ (4PI sr, 2 %BW)
 

Weitere Vorteile sind: 

  • flexible Wahl des Targetmaterials
  • geringe Partikelemission (Debris)
  • geringer Gasverbrauch

 

Weiterführende Informationen

Produktflyer Laborstrahlquelle (PDF)

Regeln

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Laser-Laboratorium Göttingen e.V. (LLG)

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Abteilungsleiter
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"Optik / Kurze Wellenlängen"

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