Abteilung "Optik / Kurze Wellenlängen"

Die Abteilung „Optik / Kurze Wellenlängen“ beschäftigt sich mit der Charakterisierung von Laserstrahlquellen und Hochleistungsoptiken zur Strahlführung. Ein Schwerpunkt liegt bei den für die Halbleiter-Lithographie relevanten tiefen UV-Wellenlängen, alle anderen gebräuchlichen Laser-Wellenlängen sind aber ebenso verfügbar. 

Es werden Messapparaturen zur umfassenden Bewertung der Qualität und der Strahlungsstabilität optischer Komponenten betrieben. Damit lassen sich u.a. deren Absorption, thermische Linseneffekte, Zerstörschwellen sowie das Langzeit-Degradationsverhalten ermitteln. Zusätzlich werden auch die Propagations- und Kohärenzeigenschaften von Laserstrahlung vermessen, u.a. mit verschiedenen hochauflösenden Wellenfrontsensoren. 

Außerdem werden kompakte, lasergestützte Quellen für extrem ultraviolette (EUV) Strahlung und weiche Röntgenstrahlung entwickelt. Diese ermöglichen diverse messtechnische Anwendungen (Absorptionsspektroskopie zur chemischen Analytik (NEXAFS), Reflektometrie, Röntgenmikroskopie im „Wasserfenster“ bei λ = 2,2 – 4,4 nm). Die Fokussierung der Strahlung mit geeigneten Optiken gestattet zudem Stabilitäts- und Zerstörschwellmessungen auch an EUV-optischen Materialien und Sensoren bei der Wellenlänge 13,5 nm. 

Regeln

Nur Wörter mit 2 oder mehr Zeichen werden akzeptiert.
Maximal 200 Zeichen insgesamt.
Leerzeichen werden zur Trennung von Worten verwendet, "" kann für die Suche nach ganzen Zeichenfolgen benutzt werden (keine Indexsuche).
UND, ODER und NICHT sind Suchoperatoren, die den standardmäßigen Operator überschreiben.
+/|/- entspricht UND, ODER und NICHT als Operatoren.
Alle Suchwörter werden zu Kleinschreibung konvertiert.


Laser-Laboratorium Göttingen e.V. (LLG)

Ansprechpartner:

Abteilungsleiter
Dr. Klaus Mann
"Optik / Kurze Wellenlängen"

Tel.: +49(0)551/5035-41
FAX: +49(0)551/5035-99
kmann(at)llg-ev.de