Additive Verfahren

Auf Quarzglassubstrate aufgedampfte SiOx-Filme können in präzise definierten Bereichen durch laserinduzierten Vorwärtstransfer auf Empfängersubstrate übertragen werden. Dabei wird das Empfängersubstrat (Quarzglas, Silikon oder Polycarbonat) gegen das SiOx-beschichtete Gebersubstrat gedrückt, und der SiOx-Film wird durch dieses transparente Gebersubstrat mit einem ArF- oder KrF-Laserpuls bestrahlt. Die Form der transferierten Segmente wird durch eine Projektionsmaske vorgegeben. Auf diese Weise konnten Filme mit einer Mindestdicke von 200 nm transferiert werden. Der Prozess bewirkt kongruenten Transfer, d.h. auf dem Empfänger wird exakt die durch die Maske vorgegebene Kontur erzielt. Durch wiederholte Laserbestrahlung nach seitlicher Verschiebung des Gebersubstrats (und ggf. Drehung des Empfängersubstrats) ist das Stapeln von Schichtsegmenten möglich, beispielsweise in einer „Woodpile“-Form. Ggf. wird durch einen anschließenden Temperprozess die Umwandlung in SiO2 bewirkt.

Weitere Möglichkeiten zur Herstellung komplexer transparenter Strukturen sind durch das Aufbringen, Strukturieren und Modifizieren von Silikon realisierbar.

 

Weiterführende Information:

J. Ihlemann, R. Weichenhain-Schriever:
Patterned deposition of thin SiOx-films by laser induced forward transfer Thin Solid Films 550, 521 (2014)

A. Syring, T. Fricke-Begemann, J. Ihlemann:
F2-laser modification and patterning of silicone films Applied Surface Science 261, 68 (2012)

Regeln

Nur Wörter mit 2 oder mehr Zeichen werden akzeptiert.
Maximal 200 Zeichen insgesamt.
Leerzeichen werden zur Trennung von Worten verwendet, "" kann für die Suche nach ganzen Zeichenfolgen benutzt werden (keine Indexsuche).
UND, ODER und NICHT sind Suchoperatoren, die den standardmäßigen Operator überschreiben.
+/|/- entspricht UND, ODER und NICHT als Operatoren.
Alle Suchwörter werden zu Kleinschreibung konvertiert.


Laser-Laboratorium Göttingen e.V. (LLG)

Ansprechpartner:

Abteilungsleiter
Dr. Peter Simon
"Kurze Pulse / Nanostrukturen"

Tel.: +49(0)551/5035-21
FAX: +49(0)551/5035-99
peter.simon(at)llg-ev.de

Ansprechpartner für
Nanostrukturtechnologie:

Dr. Jürgen Ihlemann
Tel.: +49(0)551/5035-44
FAX: +49(0)551/5035-99
juergen.ihlemann(at)llg-ev.de