Mikro-optische Strukturen

Die fortschreitende Miniaturisierung sowie die Integration verschiedener Techniken und Funktionalitäten spielt bei der Entwicklung neuer Technologien und Produkte vielfach eine entscheidende Rolle. Die Herstellung von Mikrooptiken und deren Integration in Mikrosysteme kann in vielen Fällen durch die direkte Bearbeitung und Strukturierung mittels Laserablation erfolgen. Zur Bearbeitung von Glaswerkstoffen sind in der Regel Wellenlängen im kurzwelligen UV-Bereich (z.B. 193 nm oder 157 nm) erforderlich.

Regeln

Nur Wörter mit 2 oder mehr Zeichen werden akzeptiert.
Maximal 200 Zeichen insgesamt.
Leerzeichen werden zur Trennung von Worten verwendet, "" kann für die Suche nach ganzen Zeichenfolgen benutzt werden (keine Indexsuche).
UND, ODER und NICHT sind Suchoperatoren, die den standardmäßigen Operator überschreiben.
+/|/- entspricht UND, ODER und NICHT als Operatoren.
Alle Suchwörter werden zu Kleinschreibung konvertiert.


Laser-Laboratorium Göttingen e.V. (LLG)

Ansprechpartner:

Abteilungsleiter
Dr. Peter Simon
"Kurze Pulse / Nanostrukturen"

Tel.: +49(0)551/5035-21
FAX: +49(0)551/5035-99
peter.simon(at)llg-ev.de

Ansprechpartner für
Nanostrukturtechnologie:

Dr. Jürgen Ihlemann
Tel.: +49(0)551/5035-44
FAX: +49(0)551/5035-99
juergen.ihlemann(at)llg-ev.de