Phasenkontrollierte Interferenzmethode

Eine sehr viel versprechende Methode zur Erzeugung periodischer Nanostrukturen ist die interferometrische Lasermaterialbearbeitung. Hier wird ein Laserstrahl in verschiedene Teilstrahlen aufgeteilt und diese mit einer geeigneten Optik auf der Probe wieder überlagert. Das resultierende Interferenzmuster führt, bei ausreichend hoher Laser­intensität, zu einem periodischen Materialabtrag. Die Form der Intensitätsverteilung kann über die Einfallswinkel, Intensitäten, Polarisationsrichtungen und vor allem die Phasenbeziehungen der Teilstrahlen untereinander gesteuert werden.

Abbildung 1: Funktionsprinzip der phasengesteuerten interferometrischen Materialbearbeitung

Ein von uns neulich eingeführtes Verfahren bietet die Möglichkeit, durch phasengesteuerte Mehrstrahlinterferenz beliebig komplexe periodische 2D-Strukturen sehr flexibel herzustellen.

Abbildung 2: Komplexe periodische Oberflächenstrukturen, hergestellt durch phasenkontrollierte interferometrische Kurzpuls-Laserablation