Laserstrahl-Analyse

Anwendungen von Laserstrahlung in Industrie und Forschung stellen oft höchste Anforderungen an die Stabilität und damit an die Kontrolle des räumlichen Strahlprofils. Aus diesem Grund sind sowohl hochgenaue Techniken zur ortsaufgelösten Erfassung des Strahls als auch verlässliche, standardisierte Methoden zur Auswertung relevanter Strahlkenngrößen unverzichtbar.

Die Optikgruppe bietet eine umfassende Charakterisierung von Lasern an. Dazu wurden kameragestützte Messsysteme zur Erfassung der Intensitätsverteilung im Nah- und Fernfeld entwickelt, mit deren Hilfe die Laser-Parameter gemäß aktueller ISO-Normvorschriften ermittelt werden können (ISO 11146, ISO 13694, ISO 15367).

Die optimierte Kombination eines UV-Konverters und einer CCD-Kamera deckt dabei einen weiten Bereich wichtiger Laser-Wellenlängen vom NIR- (z.B. Nd:YAG) bis hin zum DUV-(ArF-Excimerlaser) und EUV-Spektralbereich (13,5nm) ab.

: Gemessene Intensitätsprofile eines He-Ne-Lasers (links) und eines Excimerlasers

Strahldiagnostik (NIR, Vis, UV, EUV)
Strahlparameter gemäß ISO
Strahlpropagation / Fokussierbarkeit
Strahllage-Stabilität
M² (Kaustik-Messplatz)