Adaptive Optik / Optik-Design

Die Entwicklung von Strahlführungsoptiken insbesondere für den EUV-Bereich hat in den vergangenen Jahren zu verstärkten Aktivitäten im Optik-Design mit Hilfe von Ray-Tracing-Simulationsprogrammen (ZEMAX) geführt. Als Beispiel ist in Abbildung 1 der Strahlverlauf in einem modifizierten EUV-Schwarzschild-Objektiv gezeigt (Projekt KOMPASS).

: Abbildung 1: Simulierter Strahlenverlauf für ein modifiziertes Schwarzschild-Objektiv mit 10-fachem Abbildungsmaßstab. Primär- und Sekundärspiegel sind ringförmig ausgeführt, die Abbildungsebene befindet sich dicht hinter dem Primärspiegel.

Raytracing-Simulation mit ZEMAX / Optalix
Fertigung in eigener Optik-Werkstatt
Formtreue < 200nm

Aktuelle Arbeiten beschäftigen sich mit dem Beleuchtungs- und Abbildungsstrahlengang eines Mikroskop-Aufbaus für weiche Röntgenstrahlung (Projekt L-TXM).