Stabilität von (UV-)Optiken

• Laser-Zerstörschwellen (´1-on-1´, ´S-on-1´)
• Langzeit-Bestrahlung
• Lebensdauer-Tests

Einzelpuls (1-on-1) und Mehrfachpuls (S-on-1)-Zerstörschwellen (LIDT) beschichteter und unbeschichteter Optiken werden in einem automatisierten Messstand gemäß ISO 11254 bestimmt. Dabei wird der Schadenseintritt auf der bestrahlten Stelle mittels online Video-Mikroskopie und angeschlossener digitaler Bildverarbeitung detektiert.

Das Degradationsverhalten optischer Elemente wird durch Langzeit-Bestrahlungen unter kontrollierten Umgebungsbedingungen (z.B. Schutzgas-Athmosphäre oder Vakuum) ermittelt. Die online-Überwachung des Transmissions-/Reflexions-Verlaufs erlaubt eine Aussage über die Lebensdauer der Komponente.

Eingesetzte Strahlquellen:

• Hochleistungs-Excimerlaser 351 nm, 248 nm, 193 nm, 157 nm
• Nd:YAG Laser 1064 nm, 355 nm, 266 nm
• Puls-Repetitionsraten bis 2 kHz
• Langzeit-Bestrahlungen bis 10⁹ Pulse
• flat-top Strahlprofil auf dem Target
• Test-Proben: Substrate, dielektrische Schichten