Absorption / Streuung

Absorption

Die absolute Absorption optischer Komponenten wird gemäß ISO 11551 mit Hilfe eines hochauflösenden (UV-)Laser-Kalorimeters bestimmt. Hiermit können bei den Bestrahlwellenlängen 193 nm, 248 nm, 351 nm sowohl lineare als auch nicht-lineare Absorptionsverluste in Optiken ermittelt werden. Die Messungen erlauben außerdem eine schnelle Bewertung des Langzeitverhaltens von DUV-Optiken bei niedrigen Energiedichten.

• Präzise Messung der Absorption nach ISO 11551 (ppm-Empfindlichkeit)
• Bestimmung von linearen und Zwei-Photonen-Absorptionskoeffizienten
• Erfassung von Alterungseffekten / Degradation (Farbzentrenbildung)
• Zerstörungsfreie Qualitätsuntersuchung von Excimerlaser-Optiken

Streuung

Streuverluste in UV-Optiken werden in einem Streulichtmessplatz mit einem Excimerlaser als Lichtquelle und einer speziell beschichteten Ulbricht´schen Kugel als integrierendem Element vermessen.

• Bestimmung der Totalen Streuung (TS) im UV-Spektralbereich
• Empfindlichkeit: <1 ppm bei 248 nm, <30 ppm bei 193 nm
• Erstellung zweidimensionaler Streulichtverteilungen

Weiterführende Informationen:

 Produktflyer Optikcharakterisierung (PDF)
 Appl. Phys. B; Comparative studies of absorptance behaviour of alkaline-earth fluorides
 Opt. Comm.: Surface and bulk absorption in CaF2 at 193 and 157nm