Abteilung "Optik / Kurze Wellenlängen"

Die Abteilung Optik / Kurze Wellenlängen des Laser-Laboratoriums beschäftigt sich mit der Charakterisierung von Laserstrahlquellen und Hochleistungsoptiken zur Strahlführung.
Der Schwerpunkt liegt dabei auf den für die Halbleiter-Lithographie relevanten tiefen UV-Wellenlängen (193nm, 248nm). Zusätzlich werden kompakte, lasergestützte EUV/XUV-Quellen für messtechnische Anwendungen sowie für Grundlagen-Untersuchungen entwickelt.

Schwerpunkte:

• Optik-Charakterisierung
• Strahlpropagation
• EUV-Strahlung

Präsentation der Themenschwerpunkte (vorgestellt auf der Laser World of Photonics 2011 )