Phasenmasken

Phasenmasken wirken im Idealfall nur auf die Phase und nicht die Amplitude des durchtretenden Lichts und sind somit verlustärmer als Amplitudenmasken. UV-transparente Phasenmasken aus SiO₂ werden nach einem patentierten Verfahren durch Laserablation kundenspezifisch gefertigt. Insbesondere Masken mit mittleren Strukturgrößen im Bereich von 10 µm bis zu einigen 100 µm, die beispielsweise als diffraktive Strahlteiler oder als Projektionsmasken für verkleinernde Abbildungen eingesetzt werden sollen, sind mit diesem Verfahren herstellbar. Sie werden für die jeweilige Anwendungswellenlänge, die im Bereich von 193 nm bis zum nahen Infrarot liegen kann, optimiert.