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Dielektrische MaskenAls dielektrische Masken werden strukturierte reflektierende dielektrische Schichtsysteme auf transparenten Substraten bezeichnet. Es sind somit Amplitudenmasken, die aus Bereichen mit unterschiedlicher Transmission, im Extremfall 0 und 1 bestehen. Derartige Masken können durch ablative Strukturierung von optischen Schichtstapeln kundenspezifisch hergestellt werden. Aufgrund der im Vergleich zu konventionellen Chrom-Masken deutlich erhöhten Strahlungsfestigkeit werden sie vorwiegend in Hochleistungsanwendungen (Lasermaterialbearbeitung) eingesetzt. |
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Ansprechpartner: Dr. Jürgen Ihlemann |
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