Abteilung Nanostrukturen

Die Materialbearbeitung durch UV-Laserablation ermöglicht die flexible Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen, z.B. für mikrofluidische oder optische Anwendungen. Die Abteilung Nanostrukturen befasst sich mit der Strukturierung verschiedenster Materialien (Kunststoff, Glas, Keramik, Metall, Halbleiter). Es werden vorwiegend Excimerlaser, F₂-Laser und UV-Ultrakurzpulslaser eingesetzt. Mittels Maskenprojektion oder Interferenzverfahren wird bei geeigneter Laserwellenlänge und Pulsdauer sub-μm-Präzision erreicht. Strukturdetails mit Abmessungen im Bereich 50 nm sind realisierbar.

Ein Schwerpunkt der Arbeiten liegt auf der Laserbearbeitung optischer Schichten. Sowohl die Strukturierung durch Ablation als auch die Modifikation oder chemische Umwandlung der Schichten mittels Laserbestrahlung werden untersucht. Die entwickelten Prozesse ermöglichen die Herstellung präziser Strukturen für Anwendungen in Optik, Photonik und Biosensorik. Beispiele sind Phasenmasken, diffraktive Elemente oder Wellenleiter.

Schwerpunkte:

Lasermikro- und Nanostrukturierung
Mikro-Optik
Biosensorik